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硅片甩干機的工作特點

 更新時間:2016-08-18 點擊量:2722
   硅片甩干機用于清洗太陽能硅片和半導體硅片,是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,目前主要機型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作過程為噴淋旋轉(zhuǎn)沖洗+離心甩干+氮氣加熱烘干,工作特點如下:
  1、硅片甩干機整個甩干過程一般只需要5-6分鐘;
  2、設(shè)備的外露面為進口的PP板,外形美觀,耐酸氣腐蝕;
  3、工作腔,旋轉(zhuǎn)支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并且表面電化學拋光處理;
  4、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)經(jīng)過精密動平衡處理,保證工作時的平衡性;
  5、采用特種減震器,精密減震和阻尼,保證系統(tǒng)的穩(wěn)定;
  6、硅片甩干機采用潔凈化處理技術(shù),閥門,接頭和管道采用不銹鋼,PEA高純管件和聚四氟;
  7、采用油壓缸自動開門關(guān)門,平穩(wěn)安全可靠;
  8、采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮氣,熱量足,溫度穩(wěn)定,加熱溫度實時監(jiān)控,并顯示在液晶屏上,并有雙重安全保護;
  9、特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng),全自動切換;
  10、頂蓋采用電加熱板輔助加熱,保證頂蓋烘干后不滴水;
  11、硅片甩干機的工作腔采用靜電控制。

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